由比传统机型小30%的伺服马达,以及可方便地设置优运转的高响应单轴伺服放大器和多轴伺服放大器(大6轴)构成的交流伺服系统。可用于半导体制造装置,芯片贴装机,机器人,一般产业机械,机床等。
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第19年